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SMC 的 PFM 系列為雙流量開關(guān),設(shè)計(jì)用于檢測真空中的微芯片元件吸收以及過濾器和噴嘴中的擁塞。 緊湊型輕便設(shè)計(jì),適用于二氧化碳、空氣、氮?dú)饣驓鍤狻?
流率范圍:10、25、50,100l/min
最小單位設(shè)置:0.01l/min
重復(fù)性:±1%F.S. 或更低!
潤滑脂-自由
流量調(diào)節(jié)閥集成-減少布管和節(jié)省空間的
響應(yīng)時(shí)間可設(shè)置