霍尼韋爾 Zephyr? HAF 系列傳感器為指定的滿量程流量范圍及溫度補償范圍內(nèi)讀取氣流數(shù)據(jù)提供一個數(shù)字界面。隔熱加熱器和溫度感應(yīng)元件可幫助傳感器對空氣流或其他氣流做出快速響應(yīng)。
Zephyr 傳感器旨在測量空氣和其他無腐蝕性氣體的質(zhì)量流量。標準流量范圍為 10 SLPM、15 SLPM、20 SLPM、50 SLPM、100 SLPM、200 SLPM 或 300 SLPM，另具可定制化的流量范圍供您選擇。這些傳感器利用電路板上的專用集成電路 (ASIC) 進行全面的校準和溫度補償。
HAF 系列 >10 SLPM 已經(jīng)在經(jīng)校準的 0 °C 至 50 °C [32 °F 至 122 °F] 溫度范圍進行補償。先進的基于 ASIC 的補償能夠?qū)崿F(xiàn)數(shù)字 (I2C) 輸出和 1 毫秒的響應(yīng)時間。
這些傳感器根據(jù)熱傳遞原理測量氣流的質(zhì)量流量。它們由含有熱電阻微橋的微機電傳感系統(tǒng) (MEMS) 組成，薄膜鉑電阻沉積于氮化硅薄膜上。MEMS 傳感芯片位于精密設(shè)計的氣流通道內(nèi)，提供對于流量的可重復響應(yīng)。
Zephyr 傳感器可以為客戶提供增強的可靠性、高準確度、可重復測量等性能，并且能夠定制傳感器以滿足許多具體的應(yīng)用要求。堅固外殼和穩(wěn)定基底相結(jié)合使得這些產(chǎn)品極其堅固耐用。它們的設(shè)計與制造符合 ISO 9001 標準。
| 產(chǎn)品 |
| 信號調(diào)節(jié) | 補償溫度范圍 | 流量/壓力范圍 | 介質(zhì)兼容性 |
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| HAFUHH0020L4AXT |
| 放大 | 0°C 至 50°C [32°F 至 122°F] | 0 SLPM 至 20 SLPM | 僅干燥氣體 |
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| HAFUHH0050L4AXT |
| 放大 | 0°C 至 50°C [32°F 至 122°F] | 0 SLPM 至 50 SLPM | 僅干燥氣體 |
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| HAFUHH0100L4AXT |
| 放大 | 0°C 至 50°C [32°F 至 122°F] | 0 SLPM 至 100 SLPM | 僅干燥氣體 |
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| HAFUHH0200L4AXT |
| 放大 | 0°C 至 50°C [32°F 至 122°F] | 0 SLPM 至 200 SLPM | 僅干燥氣體 |
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| HAFUHM0010L4AXT |
| 放大 | 0°C 至 50°C [32°F 至 122°F] | 0 SLPM 至 10 SLPM | 僅干燥氣體 |
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| HAFUHM0020L4AXT |
| 放大 | 0°C 至 50°C [32°F 至 122°F] | 0 SLPM 至 20 SLPM | 僅干燥氣體 |
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| HAFUHM0200L4AXT |
| 放大 | 0°C 至 50°C [32°F 至 122°F] | 0 SLPM 至 200 SLPM | 僅干燥氣體 |
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| HAFUHM0300L4AXT |
| 放大 | 0°C 至 50°C [32°F 至 122°F] | 0 SLPM 至 300 SLPM | 僅干燥氣體 |
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| HAFUHT0015L4AXT |
| 放大 | 0°C 至 50°C [32°F 至 122°F] | 0 SLPM 至 15 SLPM | 僅干燥氣體 |
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| HAFUHT0020L4AXT |
| 放大 | 0°C 至 50°C [32°F 至 122°F] | 0 SLPM 至 20 SLPM | 僅干燥氣體 |
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