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     半導(dǎo)體制程主要為薄膜（Thin Film）、微影（Photo）、蝕刻（Etch）與擴(kuò)散（Diffusion）四大制程。在制造過(guò)程中，每一層電路大都循環(huán)此四制程，層層構(gòu)建。制程中使用的化學(xué)物品非常多，在薄膜形成階段，雖有5-6種不同制程，但應(yīng)用較廣且需投入較多種原物料者為化學(xué)氣相沉積、擴(kuò)散等；在微影階段(黃光區(qū))，含涂布、曝光、顯影等步驟，投入量較多的原料有光阻劑、稀釋劑、顯影劑、清洗劑等；在蝕刻階段，乾蝕刻部分使用多種氣體，如HBr、Cl2、BCl3、SF6、CHF3、NF3、Ar等；濕蝕刻部分則以使用硫酸溶液去除光阻、使用磷酸溶液去除Si3N4薄膜、蝕刻SiO2所使用氫氟酸與硫酸、硝酸等多種強(qiáng)酸調(diào)配之化學(xué)品；清洗部分，除制程水外亦需配合適量雙氧水、無(wú)機(jī)酸、氨水、異丙醇(IPA)等      

       對(duì)半導(dǎo)體工業(yè)而言，保持安全地工作環(huán)境無(wú)疑是最重要的問(wèn)題。為了確保制造流程的操作是在可以接受的參數(shù)范圍，現(xiàn)場(chǎng)工程師需要建立可靠地和性價(jià)比高的氣體監(jiān)控網(wǎng)絡(luò)。

       這里所描述的氣體監(jiān)測(cè)系統(tǒng)結(jié)合了為Backbone網(wǎng)絡(luò)所提供的以太冗余環(huán)網(wǎng)和為現(xiàn)場(chǎng)設(shè)備的連接所使用的ProfiBus FMS，從而產(chǎn)生有冗余機(jī)制的可以抵御網(wǎng)絡(luò)故障的可靠的網(wǎng)絡(luò) 。

網(wǎng)絡(luò)解決方案

       Backbone: 在多模光纖下全雙工快速以太網(wǎng)，在工廠層對(duì)分布式可連接以太網(wǎng)的所有PLC提供冗余連接。
現(xiàn)場(chǎng)總線: 為現(xiàn)場(chǎng)設(shè)備和儀表的連接提供的ProfiBus FMS 網(wǎng)絡(luò)。
SNMP OPC Server: 將以太網(wǎng)絡(luò)的管理功能方便的與領(lǐng)先的HMI/SCADA軟件進(jìn)行整合。

為什么選擇 MOXA?

       快速冗余環(huán)網(wǎng) (恢復(fù)時(shí)間< 300 ms) 可以通過(guò)Email或者尋呼機(jī)發(fā)送網(wǎng)絡(luò)異常警報(bào)和狀態(tài)報(bào)告可通過(guò)基于web的瀏覽器簡(jiǎn)單的設(shè)置和管理光纖轉(zhuǎn)換器的連接故障功能Link Fault Pass-Through function with media converter SNMP OPC Server 方便的將網(wǎng)絡(luò)管理與 HMI/SCADA進(jìn)行整合