真空斷路器利用高真空中電流流過零點時，等離子體迅速擴散而熄滅電弧，完成切斷電流的目的。真空斷路器真空電弧其他氣體電弧放電現象有很大的差別，氣體的游離現象不是產生電弧的主要因素，真空電弧放電是在觸頭電極蒸發出來的金屬蒸汽中形成的。同時，開斷電流的大小不同，電弧表現的特點也不同。我們一般把它分為小電流真空電弧和大電流真空電弧。

    ①真空斷路器小電流真空電弧：　觸頭在真空中開斷時，產生電流和能量十分集聚的陰極斑點，從陰極斑點上大量地蒸發金屬蒸汽，其中的金屬原子和帶電質點的密度都很高，電弧就在其中燃燒。同時，弧柱內的金屬蒸汽和帶電質點不斷地向外擴散，電極也不斷的蒸發新的質點來補充。在電流過零時，電弧的能量減小，電極的溫度下降，蒸發作用減少，弧柱內的質點密度降低，最后，在過零時陰極斑消失，電弧熄滅。　有時，蒸發作用不能維持弧柱的擴散速度，電弧突然熄滅，發生截流現象。

    ②真空斷路器大電流真空電弧：在觸頭斷開大的電流時，電弧的能量增大，陽極也嚴重發熱，形成很強的集聚型的弧柱。同時，電動力的作用也明顯了，因此，對于大電流真空電弧，觸頭間的磁場分布就對電弧的穩定性和熄弧性能有決定性的影響。如果電流太大，超過了極限開斷電流，就會造成開斷失敗。此時，觸頭發熱嚴重，電流過零以后仍然蒸發，介質恢復困難，不能斷開電流。