多組分密度計的優(yōu)點如可維護性和高精度在線測量是相同的，但它是一個具有用于半導(dǎo)體制造工藝的小型電池型發(fā)射器的模型。

    多組分密度計的特點

    三個組件中的雙組分密度計側(cè)可以實時實現(xiàn)

    標(biāo)準(zhǔn)配備模擬DC 4-20mA（2系統(tǒng)）和數(shù)字RS232C

    標(biāo)準(zhǔn)配備測量誤差輸出和報警輸出

    標(biāo)準(zhǔn)配備自診斷功能和錯誤信息顯示

    小巧輕便的蜂窩發(fā)射器可以直接安裝在線路上

    采用PFA的液體接觸材料對液體化學(xué)品沒有影響，輸出設(shè)計小

    使用

    CMP工藝中的CMP漿料和氧化劑濃度控制

    清洗過程中清洗液濃度的控制（HF + HNO3·HF + H2SiF6等）

    蝕刻過程中的蝕刻劑濃度控制（TMAH +抗蝕劑·TMAH + Si等）

    優(yōu)點

    可以高精度地進行連續(xù)測量

    免維護，無需定期調(diào)整和校準(zhǔn)

    安裝時的各種調(diào)整是不必要的，并且安裝容易

    通過實時輸出輕松反饋處理