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　　ADXL50加速度傳感器是集成在單片集成電路上的完整的加速度測量系統，非常適用于惡劣的工業及汽車環境。本文將介紹該傳感器的特性和使用方法，分析研究影響其測量精度的主要因素。

　　單片集成加速度傳感器ADXL50是美國AD公司的產品，其主要的特點是體積小、方向性好、精度高、時漂與溫漂小；在+5 V單電源下工作，使用方便，所需外圍元器件少；可靠性很高，在通電時可以承受500 g的加速度沖擊，不加電時可以承受2 000 g的加速度沖擊而不致損壞。 因此他特別適于在惡劣的工業環境與汽車測試系統中工作。

　　1、ADXL50的主要技術指標

　　測量靈敏度為：19 mV/g；
　　滿刻度測量范圍為：±50 g；
　　頻率響應范圍為：DC1 kHz；
　　在開關信號控制下可進行自檢；
　　內置緩沖放大器，可用于輸出靈敏度及零加速度輸出電平調節。

　　2、ADXL50工作原理
 

圖1 加速度傳感器原理框圖及管腳圖

　　ADXL50是一個完整的加速度測量系統，他將一個傳感器部件和完成加速度測量有關的電路，包括振蕩器、解調器、前置放大器、緩沖放大器、參考電源及溫度補償電路等，全部集成在一片硅晶片上。芯片封裝在如圖1(b)所示的10腳TO100管殼內。這10腳的定義如下：

　　①為5 V電源；
　　②，③為外接解調器電容；
　　④為振蕩器去藕電容；
　　⑤為公共端；
　　⑥為3.4 V參考電源輸出；
　　⑦為自檢數字信號輸入；
　　⑧為前置放大器輸出；
　　⑨為緩沖放大器輸出；
　　⑩為緩沖放大器反相輸入。

　　圖1(a)為加速度傳感器的原理框圖。 圖中的傳感器部件是整個器件的關鍵部件，其原理如圖2所示。圖2中只繪出了傳感器部件的一個電容單元，他由1片中心片和相互獨立的2片固定片組成，2片固定片等距排列在中心片的兩側。 實際的傳感器部件包括一組共42片中心片，這些中心片固定在一個中心臂上，中心臂可帶著42片中心片沿圖中水平方向移動。

　　每片中心片和其兩側的2片固定片構成一對電容Cs1和Cs2，Cs1和Cs2在電路上相互串聯，構成一個電容分壓器，分壓器的中點即為可移動的中心片。加速度傳感器中的振蕩器(見圖1(a))在通電時產生一對幅度相等，相位相反的1 MHz方波信號。這一對方波信號加在中心片側不同的固定片上。無加速度時，中心片處于兩固定片的中央，此時Cs1=Cs2，因此在電容分壓器的中點即中心片上的電壓為0。當傳感器作加速運動時，由于慣性，中心臂帶著中心片相對于固定片向著與加速度相反的方向運動，此時Cs1與Cs2不相等(見圖2)，這就在中心片上產生一個電壓信號，此信號經解調器處理，再經前置放大器放大，在前置放大器的輸出端就得到一個與加速度成正比的電壓信號VPR并接到ADXL50的第8腳上。
 

圖2 傳感器部件

　　3、ADXL50的基本測量電路

　　用ADXL50構成的基本測量電路如圖1(a)所示。其中使用了3個外接電容和3個外接電阻。

　　C1為解調器電容，用以決定測量系統的帶寬，C2為振蕩器去藕電容，C3為電源去藕電容。C1，C2的容量一般選用0022 μF，C3一般為0.1 μF即可。

　　ADXL50在出廠前，廠家已將其前置放大器后的測量靈敏度調為 19 mV/g， 其0 g時的輸出電壓VPR為 1.8 V。因此，若加速度為±50 g，則VPR=1.8±0.95 V，若加速度為±20 g ，則VPR=1.8±0.38 V。由于在VPR上的信號不標準化，不適于直接讀取進行顯示或進行數字化處理。另外，ADXL50前置放大器的注入電流最大只能有25 μA，驅動能力很小，因此，VPR上的信號要作進一步處理，才能滿足需要。一般外接幾個電阻，與緩沖放大器構成一個放大環節，以調整傳感器的VPR的0 g電位，并提高輸出信號的靈敏度。 經緩沖放大后的加速度信號，其變化范圍最好處于0.5～4.5 V之間，使之距電源的高低兩端都有一定的余量。若加速度正、負兩方向的變化幅度相近，就可將0 g電位調在2.5 V左右。這樣，正、負加速度信號在傳感器輸出口Vout上就有±2 V的變化范圍。設待測加速度的范圍為±50 g，則VPR=1.8±0.95 V，欲使Vout=2.5±2.0 V，就需將信號中的交流分量放大。由圖2可知，緩沖放大器的放大系數為-R3/R1，所以，取R1=50 kΩ，即可確定R3=105 kΩ。

　　R3/R1=Vout變化量/VPR變化量=2.0/0.95=2.10

　　在圖1(a)中，R2的一端接地，為使0 g時Vout=2.5 V，R2應滿足下面的條件：

　　R2=(1.8 V×R3)/(Vout-1.8 V) =270 kΩ(1)

　　圖3為一個更常用的電路。其中使用了ADXL50片內提供的3.4 V參考電壓，增加了一個電位器Rt。這時的Vout由下式確定：

　　Vout=R3/R1(1.8 V-VPR)+R3/R2(1.8 V-Vx)+1.8 V(2)

　　可以看出，Vout的0 g電壓可在更大的范圍內調節，一般取R2=100 kΩ。
 

圖3 ADXL50的常用電路

　　現舉一例說明電路參數選擇。 有一機械裝置的正向加速度最大可達10 g，負向加速度最大可達-2g，用ADXL50測量其力學特性，可按如下方式選擇電路參數。此裝置的加速度變化范圍為10 g-(-2g)=12g。設輸出電壓Vout的變化范圍為4.5 V-0.5 V=4.0 V，則系統的靈敏度為4.0 V/12 g=0.333 V/g。已知VPR腳上的靈敏度為0.019 V/g，因此緩沖放大器的放大系數應為0.333 V/0.019 V=17.53。由此得R3/R1=17.53。選擇R1時要注意VPR口的注入電流不得大于25 μA。選R1=25 kΩ，得R3=25kΩ×17.53=438kΩ。系統的0g電位可定為0.5 V+0.667 V=1.167 V，由式(2)得Vx=1.95 V。選R2=100 kΩ，調節Rt使Vx=1.95 V即可。

　　在進行電路設計時，應注意下面幾點：

　　(1)選擇R1時，要使前置放大器的注入電流小于25 μA。

　　(2)在加速度較小時，例如小于±5 g時，測量信號的信噪比會大大低于±50 g時的值。在帶寬要求不高的情況下，可以適當加大解調器電容C1，降低一些傳感器的響應速度以提高信噪比，或在緩沖放大級中加入濾波環節改善之。

　　(3)盡管ADXL50中設置了補償電路，但不可能完全補償。在加速度較小，溫度變化大時，溫漂和時漂也會產生較大的影響。可以采取測定加速度信號交流分量，或周期讀取0 g值進行校正的方法改善。

　　(4)ADXL50的工作是基于電容測量的機制，因此切忌在VPR腳上加接電容性的負載。此腳上加接10 pF的電容就會引起1 mV的信號誤差，傳感器的信號最好從Vout腳輸出。

　　4、ADXL50的自標定

　　若手邊沒有標準的加速度標定設備，利用地球的1 g重力加速度，可以用自標定方法很簡便地將ADXL50的0 g電位與放大倍數標定到較高的精度。圖4表示在重力的作用下，在ADXL50 (TO100包裝) VPR腳上的輸出與其相對于地面的取向之間的關系。當其靈敏軸垂直指向地表時，ADXL50顯示-1 g讀數，其靈敏軸垂直指向上方時，顯示+1 g。其靈敏軸平行于地表時，ADXL50顯示0 g，讀數見圖4。由圖4所示取向可以標定ADXL50的0 g電位，可以標定ADXL50的緩沖級放大倍數。首先，將ADXL50水平放置，選2個相差180°的位置，初步確定0 g電位。再按圖4所示，取2個相差180°的垂直方向的輸出電位，得到2 g的加速度變化及相應的傳感器輸出變化，以此調整放大級的放大倍數。如此反復兩三次，即可達到較好的結果。
 

圖4 ADXL50 取向
 
圖5 ADXL50 的屏蔽環

　　5、影響ADXL50測量精度的若干因素

　　加速度傳感器 ADXL50 若使用不當，會產生較大的測量誤差，降低精度。在使用中要特別注意下面幾點：

　　(1)ADXL50有一個靈敏軸，其方向是從第⑤腳指向第10腳(即指向管殼定位片)，傳感器測量的就是沿此軸的加速度。設此軸為x軸，又設在傳感器管殼底部平面內與x軸垂直的方向為y軸。若加速度a的方向與傳感器底部xy平面之間的夾角為α，則加速度a在xy平面上的分量為axy=a×cos α。又設加速度分量axy與傳感器靈敏軸之間的夾腳為α，則axy在靈敏軸上的分量為ax=axy×cos β=a×cos α×cosβ。 因此，在安裝加速度傳感器時，要盡量使其靈敏軸與加速度的方向一致，否則就得對測量結果作必要的修改，以免造成過大的誤差。

　　(2)在理想的情況下，任何與靈敏軸成直角的橫向加速度都不會產生輸出信號。但若橫向加速度的方向與靈敏軸不是直角相交，就會產生輸出信號。設橫向加速度axy在xy平面內，與加速度靈敏軸的夾角為α，他在x軸上的分量為ax=axy×cosα。設α為89°，axy就會在傳感器上產生相當于1.7% axy的誤差。

　　(3)ADXL50要安裝在電路板上使用。在電路板的共振頻率與待測加速度的頻率相近時，若電路板稍有松動，就會產生共振，使測量結果偏大，造成誤差。因此，在安裝電路板時，要選擇合適的位置，固定牢靠。在對系統進行試驗時，最好在不同的頻率下測試，以便發現可能的共振問題。

　　(4)解調器濾波電容C1的作用一是決定ADXL50的帶寬，二是對解調器信號進行濾波。帶寬由下式決定：
　　fdB=(28.6/C1)40%

　　其中：C1的單位為μF。通常選用 C1=0.0022 μF，最小不低于0.0015 μF，以免造成系統不穩或振蕩。

　　減小C1可以提高系統對快速加速度變化的反應速度，但會增大解調器輸出的噪聲，因為系統的噪聲與帶寬的平方根成正比。可在緩沖放大級中增加低通濾波功能以提高信噪比。在電路板設計時要注意減小或消除C1對地或對電源的漏電。電流從C1兩腳泄漏路徑不平衡會使0 g電平漂移，影響很大。可在印制電路板的兩面制作如圖5所示的屏蔽環，屏蔽環包含C1的兩腳及連線，并與ADXL50的第④腳相通。使C1的兩腳與ADXL50的第④腳大致處于相同的電位。注意屏蔽環要盡量遠離C1兩腳及其連線。