目前致力于追求更高性能的領域來開展MEMS傳感器業務。比如汽車、產業設備以及醫療器械等。這些均是今后有望實現高度成長的領域。

　　在檢測汽車、產業設備以及洗衣機等使用的馬達的振動情況，以判斷是否發生異常的用途中，利用3軸加速度傳感器。通過利用FFT分析發生的振動的頻率成分，來推測振動發生的位置。例如，如果在低頻帶寬發現異常振動，可推斷是馬達外側的盒子發生異常，如果在中頻帶寬，可推斷是軸承部分發生了異常。

　　加速度傳感器除了檢測振動之外，還可用于檢測汽車的行李架、醫療器械的床體以及飛機等的傾斜角。在這類用途中，主要用來檢測±20g以下的相對比較緩慢的動作。

　　另一方面，陀螺儀傳感器用于檢測直升機、船舶以及無人駕駛飛機等的旋轉動作和方向變化。

　　采用MEMS技術的陀螺儀傳感器利用振動的物體上的“科氏力”來測量角速度。

　　今后在行人用導航儀方面，陀螺儀傳感器的使用將會增加。因為與車載導航儀相比，行人導航儀要求更高的傳感器性能。人的移動范圍遠遠比汽車廣。車載導航儀的前提是汽車行駛在道路上，而人四處移動。在利用GPS無法檢測到的位置等，要想實現更精準的行人導航儀，就需要采用陀螺儀傳感器。