從MEMS陀螺儀的應用方向來看，陀螺儀能夠測量沿一個軸或幾個軸運動的角速度，可與MEMS加速度計(加速計)形成優勢互補，如果組合使用加速度計和陀螺儀這兩種傳感器，設計者就能更好地跟蹤并捕捉三維空間的完整運動，為最終用戶提供現場感更強的用戶使用體驗、精確的導航系統以及其它功能。

　　要準確地描述線性和旋轉運動，需要設計者同時用到陀螺儀和加速度傳感器。單純使用陀螺儀的方案可用于需要高分辨率和快速反應的旋轉檢測；單純使用加速度計的方案可用于有固定的重力參考坐標系、存在線性或傾斜運動但旋轉運動被限制在一定范圍內的應用。但同時處理直線運動和旋轉運動時，就需要使用陀螺儀和加速度計的方案。

　　此外，為讓設計和制作的陀螺儀具有較高的加速度和較低的機械噪聲，或為校正加速度傳感器的旋轉誤差，一些廠商會使用磁力計來完成傳統上用陀螺儀實現的傳感功能，以完成相應定位，讓陀螺儀術業有專攻。這表明，混合的陀螺儀、加速度計或磁感應計結合的方案正成為MEMS陀螺儀技術應用的趨勢。若只使用傳統的加速度計，用戶得到的要么是反應敏捷的但噪聲較大的輸出，要么是反應慢但較純凈的輸出，而如將加速度計與陀螺儀相結合，就能得到既純凈又反應敏捷的輸出。

　　加速度傳感器是慣性導航和慣性制導系統的基本測量元件之一，加速度計本質上是一個振蕩系統，安裝于運動載體的內部，可以用來測量載體的運動加速度，并通過對加速度積分，知道載體的速度和位置等信息。因此，加速度傳感器的性能和精度直接影響導航和制導系統的精度。MEMS類加速度計的工作原理是當加速度計連同外界物體(該物體的加速度就是待測的加速度)一起作加速運動時，質量塊就受到慣性力的作用向相反的方向運動。

　　質量塊發生的位移受到彈簧和阻尼器的限制，通過輸出電壓就能測得外界的加速度大小。目前該設備已開始被較廣泛地應用于智能手機、游戲手柄等領域。