真空泵是用各種方法在某一封閉空間中產(chǎn)生、改善和維持真空的裝置。真空泵可以定義為：利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。隨著真空應(yīng)用的發(fā)展，真空泵的種類已發(fā)展了很多種，其抽速從每秒零點(diǎn)幾升到每秒幾十萬、數(shù)百萬升。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體傳輸泵和氣體捕集泵。
　　常見真空泵的種類及原理性能
　　1、旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵
　　以油封式真空泵為例加以介紹。
　　構(gòu)造：偏心軸轉(zhuǎn)子,固定翼,油。旋轉(zhuǎn)動(dòng)力是電機(jī)。
　　原理：轉(zhuǎn)子緊貼泵壁內(nèi)側(cè)旋轉(zhuǎn)。固定翼隨之下移,轉(zhuǎn)子到達(dá)油面后,空氣被壓縮,壓縮后的空氣壓力高于外界大氣壓之后從排氣口排出。
　　特征：排氣能力由壓縮比決定,可達(dá)0.1Pa程度。操作簡單。可以從大氣壓狀態(tài)下啟動(dòng)。油要蒸發(fā)。為了避免油或其它液體進(jìn)入真空腔內(nèi),不用油或其它液體的干式真空泵正在成為主要的旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵。
　　2、分子泵
　　構(gòu)造：電機(jī)驅(qū)動(dòng)的高速旋轉(zhuǎn)葉片,泵壁上固定的固定葉片。
　　原理：每分鐘旋轉(zhuǎn)數(shù)萬次的高速旋轉(zhuǎn)葉片撞擊氣體分子,被撞擊的氣體分子碰撞到固定葉片后又被彈到下一個(gè)旋轉(zhuǎn)葉片上,最終被送到排氣口。旋轉(zhuǎn)葉片和固定葉片的方向相反,使分子難于逆行。這種排氣方式,排氣速度不因氣體種類而變。
　　特征：不用油,工作環(huán)境清潔,可到達(dá)10-10Pa的真空度。排氣速度不受氣體種類影響。構(gòu)造復(fù)雜,價(jià)格昂貴,高速旋轉(zhuǎn),要注意安裝要求。有振動(dòng)。需要和其它初段排氣泵組合。
　　3、離子泵
　　構(gòu)造：強(qiáng)磁鐵,蜂窩狀陽極,鈦(Ti)陰極。
　　原理：通過濺射現(xiàn)象,使Ti離子化,Ti離子化學(xué)反應(yīng)活性高。和氣體分子反應(yīng)之后生成化合物。一部分氣體分子也離子化之后向陰極加速,使陰極的Ti被濺射后,一部分離子進(jìn)入陰極內(nèi)部。
　　特征：能達(dá)到超高真空(10-10Pa)。需要和其它初段排氣泵組合。有一定壽命。
　　4、Ti升華泵
　　構(gòu)造：加熱電阻絲、Ti材料(線或球)。
　　原理：通過加熱電阻絲,使Ti升華。因?yàn)門i化學(xué)反應(yīng)活性高、立刻和周圍的氣體分子反應(yīng)而生成穩(wěn)定的化合物。反應(yīng)生成的化合物吸附在真空腔內(nèi)壁上、從而達(dá)到降低氣壓的效果。如果升華后的Ti吸附在較大面積的內(nèi)壁上、則產(chǎn)生巨大的排氣速度。比如1平方米的面積上吸附Ti原子的話、對氮?dú)舛浴⒖蛇_(dá)到24000升/s的排氣速度。在壓力較高時(shí)(>10-3Pa)、排氣速度大大降低。因此需要和其他排氣泵組合使用。
　　特征：排氣速度大。沒有運(yùn)動(dòng)部分,沒有振動(dòng)。需要和其它初段排氣泵組合。有一定壽命。
　　5、低溫泵
　　構(gòu)造：冷凍機(jī)、液態(tài)He。
　　原理：利用氣體在超低溫表面凝結(jié)而達(dá)到排氣效果。
　　特征：能達(dá)到超高真空(10-11Pa)。排氣速度快。安裝方向不受限制。