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    真空密封是保持真空狀態(tài)的基本技術(shù)，可分為運(yùn)動(dòng)密封和固定密封兩種。運(yùn)動(dòng)密封主要是指從大氣向真空中傳達(dá)運(yùn)動(dòng)的密封，傳達(dá)的運(yùn)動(dòng)有直線、旋轉(zhuǎn)等。固定密封可分為永久密封和非永久密封兩種方式。

    最常見(jiàn)的永久密封有金屬之間、玻璃和金屬之間、陶瓷和金屬之間的密封。

    真空系統(tǒng)中使用最多的是金屬之間的密封，材料主要用不銹鋼（SUS304SUS316），密封方式多采用氬弧焊。焊接時(shí)，向焊接部位吹入大量的惰性氣體氬氣，避免焊接部位的氧化。

    無(wú)法用氬弧焊焊接的金屬材料（銅等）或不同金屬材料間的密封（不銹鋼和銅）通常采用真空釬焊。在金屬接合部填加銀蠟后放置于真空爐中逐漸升溫，銀蠟熔化滲入金屬的接合部，再 重新降溫固化后即完成真空釬焊。真空釬焊的難點(diǎn)在于需要專(zhuān)門(mén)的治具，優(yōu)點(diǎn)在于沒(méi)有變形和焊接部位沒(méi)有氣泡。

    硬質(zhì)玻璃（硼硅酸玻璃）和金屬接合時(shí)，要求接合部在室溫和數(shù)百攝氏度之間有較小的熱膨脹系數(shù)。密封用的金屬主要是鈷合金（Fe:Ni:Co=54:29:17）。鈷合金和其他金屬（不銹鋼）通過(guò)氬弧焊密封，鈷合金和鈷玻璃之間的熱膨脹系數(shù)一致，可以直接采用玻璃加工工藝密封。各種真空觀察窗都是使用這種技術(shù)制作的。

    陶瓷時(shí)絕緣材料，需要導(dǎo)入或測(cè)量電信號(hào)時(shí)離不開(kāi)陶瓷和金屬的密封。比較常見(jiàn)的做法是首先在陶瓷的表面涂Mo或Mn的粉末，在H2和N2的混合氣體中進(jìn)行熱處理后，可以在陶瓷的表面形成薄薄的Mo或Mn層。在上面再鍍牢固的Ni或Cr層，在Ni或Cr層上通過(guò)真空釬焊完成電極的密封。使用Co合金的主要目的是消除熱膨脹所產(chǎn)生的變形。

（慧樸科技，huiputech）