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靜態(tài)升壓法

靜態(tài)壓力上升

真空計

10^-2~10^-3

放電管法

放電顏色改變

放電管

1~10^-1

高頻火花檢漏器法

10³~5x10^-1

亮點，放電顏色改變

高頻火花檢漏儀

1~10^-1

熱傳導(dǎo)真空規(guī)法

10³~5x10^-1

真空計讀數(shù)變化

熱偶或電阻真空計

10^-3

電離真空規(guī)法

10^-2~10^-6

電離真空計

10^-6

差動熱傳導(dǎo)真空規(guī)法

10³~10^-1

熱傳導(dǎo)真空計差動組合

10^-4

差動電離真空規(guī)法

10^-2~10^-6

電離真空計差動組合

10^-7

具有吸附阱的熱傳導(dǎo)真空規(guī)法

熱傳導(dǎo)規(guī)液氮活性炭阱

10^-4

具有吸附阱的電離真空規(guī)法

冷陰極電離規(guī)，液氮硅膠阱

10^-7~10^-10

氫鈀法

50~10^-5

氫通過鈀管使真空計讀數(shù)變化

鈀管、電離真空計

10^-4~10^-8

鹵素檢漏儀內(nèi)探頭法

10~10^-1

儀表讀數(shù)變化

鹵素檢漏儀

10^-4~10^-6

離子泵檢漏法

10^-4~10^-7

離子流變化

離子泵本身

10^-6~10^-9

氦質(zhì)譜檢漏儀法

10^-2

輸出表及音響頻率變化

氦質(zhì)譜檢漏儀

10^-7~10^-9

四極質(zhì)譜計分析法

10^-2

輸出表及音響頻率變化

四極質(zhì)譜計

10^-9