真空工程中所用的陶瓷基本上有三類：硅酸鹽陶瓷、氧化物陶瓷及特殊品種的氮化物、硼化物、可加工陶瓷等。

    真空技術中最常用的幾種硅酸鹽陶瓷是：硬瓷、鎂鋁硅酸鹽、無堿鋁陶瓷和鋯石陶瓷。

    硬瓷是一種高密度陶瓷，具有良好的真空性能，而且具有很高的抗熱沖擊能力。硬瓷的熔體比較容易加工，因此能制成較大的結構件。

    鎂鋁硅酸鹽陶瓷很適用于真空技術，可用作真空系統內部的絕緣零件。該類陶瓷的氣密性好，能與金屬Ti和Ni合金匹配封接，其允許的工作溫度可達900℃。

    硅酸鹽陶瓷由于體內存在玻璃相，會像玻璃一樣解吸氣體。解吸的氣體成分主要是水汽、二氧化碳和一氧化碳。陶瓷零件在裝配前可預先在真空中烘烤除氣，烘烤溫度一般為800~1000℃(必須低于其軟化溫度)。裝入真空系統內的陶瓷零件的烘烤出氣溫度一般為500℃。

    純氧化物陶瓷一般用在需要耐高溫的場合。與硅酸鹽陶瓷相反，純氧化物陶瓷是結晶體，是由化學方法生產的高純度材料合成制取的，因此性質上也與硅酸鹽不同。氧化物陶瓷中最常用的是氧化鋁陶瓷。其他氧化物陶瓷，雖然在某些性能上優于氧化鋁陶瓷，但由于它們的價格很昂貴，因此只能用在特殊的場合中。

    氧化鋁也叫鋁氧粉或藍寶石，主要由Al₂O₃組成。它具有很高的電阻率、良好的熱導率、甚至在高溫下化學性質也很穩定。氧化鋁很硬(莫氏硬度為9.0)。在室溫下，氧化鋁的強度不如一般金屬，但在高溫時其強度仍保持不變。氧化鋁的蒸氣壓很低，在1950℃時仍具有真空氣密性。除了氟之外，氧化鋁不被所有的氣體還原和腐蝕。

    氧化鋁在真空技術中用途很廣，它主要用在絕緣、支撐、隔離以及陶瓷-金屬密封中。它能用在高溫和腐蝕性很高的環境中(甚至HF中)。其主要缺點是太硬，只能用研磨方法或用金剛石刀具進行加工。

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