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濕度標準是濕度測量及濕度傳感器應用的關鍵問題，同溫度測量標準作比較，濕度標準的確要復雜的多。迄今為止國際上關于濕度及其單位還沒有統一的定義，從而也就無法根據定義來實現這個單位。目前，各國使用的濕度傳感器計量標準不盡相同，但基本上都是通過兩種并行的公式來實現量值的統一。其一是建立濕度的絕對測量方法，其二是制作能夠發生已知濕度氣體的裝置。
采用已知濕度的氣體做為標準來校驗濕度傳感器更為直接，但遺憾的是迄今為止，還沒有找到一種不依懶濕度測量方法而能夠給出足夠準確可靠的量值的標準物質或標準氣體發生器。
    1、目前，濕度測量標準把重量法作為濕度傳感器的最高標準（即基準），而把恒濕氣體發生器作為傳遞量值手段的可供選擇的作為標準用的絕對測量方法，除了重量法外，還有露點法、庫侖法和干濕球濕度傳感器等。以兩種并行的公式實現濕度測量，在確定使用上述絕對測量手段的同時是建立濕度發生氣體裝置和采用重量法。
    2、制備已知濕度氣體的方法很多，大致分五類，氣體的狀態由壓力、溫度和體積來確立。對于飽和濕氣，如果狀態條件不變水汽的含量是恒定的。反之，若狀態改變，水汽含量也隨之改變。于是可以利用熱力學P.V.T關系配制出所要求的濕度的氣體。基于這一原理的方法有改變壓力的方法，即雙壓法。改變溫度的方法，即雙溫法。以及同時改變壓力和溫度的方法。第二類是混合法，又可以分為混流法和分流法兩種，前者，是將飽和濕度和過熱蒸氣，同干氣混合，后者是將一般干氣精確地按比例分為兩股，其中一股用水汽飽和，另一股仍保持干燥而反進行混合。第三類是膜滲透法——滲透管配氣技術，膜一側是水。由于膜兩側的水濕分壓不同，于是水濕向另一側滲透。第四類，是濕度固定點法，即平衡水汽壓法。這種方法是利用某些鹽類或其它化合物的水位段在一定的條件下，其氣體中的水汽分壓保持恒定，第五類，化學方法，根據定比定律，氫和氧在催化劑存在情況下，能按比例的化分生成定量的水，應用較廣，準確度也較高的是基于第一和第二類方法原理建立起來的濕度發生器，飽和器是這些發生器結構的重要組成部分，飽和器是發生裝有飽和水汽的濕空氣的裝置，建立在發生飽和濕氣基礎上的各種恒溫氣體發生器。其性能與飽和器的效率密切相關，飽和器可以設計成各種形式如：鼓泡式，噴霧式，塔板式，管式，離心式等。
    上述各種標準濕度發生器，依據各類恒濕發生和制作原理方法而成，主要用于傳感器量值的標定和作為標準使用，都不易用為生產設備從事大批量商品化的濕度傳感器生產活動，受到生產效率和成本的制約。目前在生產活動中，一方面需要建立此類標準化設備，一方面需要使作更為簡便快捷，耐用，準確的設備，以利于濕度傳感器的生產更適用于我國的國情。