傳感器在使用過程中出現故障是在所難免的，電容式壓力傳感器測量部分敏感部件采用全焊接結構，電子線路部分采用波峰焊接和接插件安裝方式，整體結構堅固、耐用，故障甚少。但是無法避免的還是會出現一些故障。
　　傳感器測量部分產生的故障都會引起傳感器無輸出或輸出不正常，因此應首先檢查傳感器的測量敏感部件。拆下法蘭，檢查敏感部件隔離膜片有無變形，破損和漏油現象發生。拆下補償板，不取出敏感部件，檢查插針對殼體的絕緣電阻，在電壓不超過100V的情況下，絕緣電阻不應小于100MΩ。接通電路和氣路，當壓力信號為量程上限值時，關閉氣源，輸出電壓和讀數值應穩定不動。如果輸出電壓下降，則說明變送器有泄漏，可用肥皂水檢查出泄漏部位。
　　傳感器電路部分的故障需要首先檢查接通電源，在給定輸入壓力信號后，檢查傳感器輸出端電壓信號的狀態。若無輸出電壓，應首先檢查電源電壓是否正常;是否符合供電要求;電源與傳感器及負載設備之間有無接線錯誤。如果傳感器接線端子上無電壓或極性接反均可造成變送器無電壓信號輸出。排除上述原因，則應進一步檢查放大器板線路中元件有無損壞問題;線路板接插件有無接觸不良現象，可采取對照正常儀表的測量電壓與故障儀表對應的測量電壓相比較的方法，確定故障點，必要的情況下可更換有故障的放大器板。在對流量型傳感器檢查時，對J型放大器板應特別要注意采取防靜電措施。
　　接通電源，在給定輸入壓力信號后，若變送器輸出過高，或輸出過低，且改變輸入壓力信號和調整零點、量程螺釘時輸出均無反應。對于這類故障，除檢查變送器測量部分敏感部件有無異常外，應檢查變送器放大器板上“振蕩控制電路部分”工作正常與否。其次檢查放大器板上各運算放大器的工作狀況;各部分的元器件有無損壞問題等。此類故障需要更換放大器板。變送器在線路設計和工藝裝配質量上要求都十分嚴格，在實際使用中對出現的線路故障，經檢查確認后最好與生產廠家聯系更換其故障線路板，以確保儀表長期工作的穩定性和可靠性。