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智能真空泵監(jiān)測(cè)方案， 完美消除半導(dǎo)體制程風(fēng)險(xiǎn)
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半導(dǎo)體晶圓制程一刻千金，一旦生產(chǎn)設(shè)備發(fā)生故障或失誤，造成的損失難以估計(jì)。對(duì)此，固德科技與凌華連手推出真空泵智能監(jiān)測(cè)解決方案，化解業(yè)界長(zhǎng)期存在的痛點(diǎn)，協(xié)助提升產(chǎn)能與良率。