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SMC 的 PFM 系列為雙流量開關,設計用于檢測真空中的微芯片元件吸收以及過濾器和噴嘴中的擁塞。 緊湊型輕便設計,適用于二氧化碳、空氣、氮氣或氬氣。
流率范圍:10、25、50,100l/min最小單位設置:0.01l/min重復性:±1%F.S. 或更低!潤滑脂-自由流量調節閥集成-減少布管和節省空間的響應時間可設置
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