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產(chǎn)品介紹

26系列閥門(mén)是波紋管密封的，專(zhuān)為泵送系統(tǒng)，半導(dǎo)體技術(shù)，研究系統(tǒng)等領(lǐng)域的高真空應(yīng)用而設(shè)計(jì)。本系列高真空角閥帶波紋管饋入裝置，模塊化設(shè)計(jì)。

執(zhí)行器類(lèi)型

手動(dòng)執(zhí)行器（手輪可拆卸）

電磁執(zhí)行器（單閉合彈簧NC，帶控制電子元件）

氣動(dòng)執(zhí)行器（雙作用）

氣動(dòng)執(zhí)行器（帶閉合彈簧NC或打開(kāi)彈簧NO）

VAT公司由Siegfried Schertler于1964年創(chuàng)立,是一家總部位于瑞士Hagg（靠近St.Gallen）的跨國(guó)公司。在真空閥門(mén)、模組、波紋管、半導(dǎo)體及真空鍍膜行業(yè)的相關(guān)服務(wù)、研發(fā)領(lǐng)域，是全球先進(jìn)的研發(fā)和制造商。公司是經(jīng)ISO 9001和ISO14001認(rèn)證的，并定期進(jìn)行其它的外部評(píng)估。

詳細(xì)參數(shù)

密封：FKM（VITON）

饋入裝置：波紋管

滲漏率：<1.10-9 mbar ls-1

泄漏率底座：<1.10-9 mbar ls-1

公稱(chēng)內(nèi)徑（ID）（mm）（inch）：10（3/8”） - 250（10”）

閥體材質(zhì)：鋁; 不銹鋼

產(chǎn)品應(yīng)用