發布日期：2022-04-29 點擊率：38
HPD 4 K 低溫晶圓探針是一種高精度全自動探針臺，適用于 4 K 環境中的 150 毫米和 200 毫米基板。為了加速商用量子和超導計算機的實現，我們為芯片開發人員提供了智能迭代設計所需的工具。4 K 低溫晶圓探測器集成了可配置的 DC 和 RF 電纜，以及可用于測試配置的更大靈活性的定制探針卡。具有集成磁屏蔽的穩健設計提供了必要的穩定環境條件，以確保為敏感的超導設備提供高質量的數據。全自動晶圓裝載和復雜的 Velox 軟件套件允許進行高吞吐量測試和無人值守操作，以快速獲取數據。FormFactor 長期的探測知識和數十年的準確低溫經驗在該系統中相結合，將超導設備的測試和測量從實驗室帶入晶圓廠。
環境控制
晶圓溫度驗證<4.5 K（44 個射頻探頭接觸）
磁場抑制<200 nT
高度均勻的晶圓溫度
準確的熱穩定性和控制
堅固的花崗巖底座結構可實現準確的運動和振動控制
靈活性
輕松更換可定制的探針卡
可配置為 150 毫米或 200 毫米晶圓
多達 56 個射頻同軸電纜（高達 18 GHz）
多達 520 條直流線路
自動化
全自動晶圓裝載或手動選項
用于手動、半自動或全自動探測的完整軟件套件
數據獲取時間
25 個晶圓盒容量，用于全自動測試
每個晶圓約 15 分鐘的冷卻時間
用于快速模具到模具運動的高速運動平臺
用于快速穩定時間的剛性運動堆棧
量子計算、超導芯片開發、量子信息科學
