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產(chǎn)品介紹

Entegris E2600 過濾器外殼用于化學(xué)凈化光刻曝光工具中使用的環(huán)境空氣。 E2600 過濾系統(tǒng)可保護(hù)曝光工具免受各種空氣分子污染物的影響。 E2600 過濾器外殼設(shè)計用于與 Entegris 化學(xué)空氣過濾器一起使用，以保護(hù)曝光工具中的化學(xué)放大抗蝕劑和暴露的光學(xué)表面。當(dāng)配備 Entegris 混合介質(zhì)化學(xué)空氣過濾器時，E2600 過濾器外殼可提供先進(jìn)的保護(hù)，防止空氣中的分子酸、堿和可冷凝有機(jī)化合物。在 E2600 內(nèi)部，專門的化學(xué)過濾器以多級串聯(lián)配置排列，以提供保護(hù)，防止嚴(yán)重的污染事件，例如溶劑和顯影劑化學(xué)品的意外溢出。

性能特點(diǎn)

去除酸、堿和可冷凝的有機(jī)物

內(nèi)部 HEPA 過濾器確保顆粒控制

用于性能監(jiān)控的堆棧間示例端口

占地面積小，節(jié)省潔凈室空間

剛性結(jié)構(gòu)確保可靠、無故障運(yùn)行

雙入口和出口過渡，用于簡單、硬或靈活的管道連接

技術(shù)參數(shù)

詳細(xì)參數(shù)

產(chǎn)品應(yīng)用