發布日期：2022-06-17 點擊率：101
Vvv技術
熱質量
液體類型
用于氣體
安裝類型
在線
材質
不銹鋼
通信協議
RS485, 模擬輸出
電源電壓
5Vdc
保護程度
耐腐蝕
應用
用于高流量
其他特性
數碼
工藝壓力
最多: 34.47 bar
最少: 0 bar (0 psi)
工藝溫度
最多: 50 °C (122 °F)
最少: 0 °C (32 °F)
質量流量
最多: 300 l/min (79.3 us gal/min)
最少: 0 l/min (0 us gal/min)
精確度
0.35 %, 1 %
重復精度
0.15 %
GF100 系列金屬密封熱質量流量控制器和儀表 高純度流路。出色的性能、可靠性和可重現性。 GF100 系列金屬密封質量流量控制器和儀表性能：快速響應和可重現的高純度/超高純度過程氣體輸送。專為半導體、MOCVD 等其他氣體流量控制應用設計，GF100 系列在可靠性方面優于半導體行業標準水平，可確保測量結果可重現并且長時間使用后性能依然高度穩定。一臺采用標準 MultiFlo? 技術的 MFC 即可滿足數千種氣體類型和各種量程組合的需求，無需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度。 結果：提高工藝靈活性和效率輔以業內最高純度的過程氣體，有助于最大限度提高產率和生產效率。 特點 長期零點穩定性，每年變動小于滿量程的 ± 0.5% 穩定時間：700 ms -<1 秒 全金屬密封流路：可選擇采用 4μ 或 10μ 英寸 Ra 表面處理的流路 耐腐蝕 Hastelloy? T-Rise 傳感器可提升高溫下測量結果的可重現性 MultiFlo? 氣體和量程設定功能 — 一臺設備即可滿足數千種氣體類型和各種量程組合的需求，無需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度 本地顯示屏 可選 SDS 氣體輸送 DeviceNet?、RS-485 L-協議和模擬接口
