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產(chǎn)品分類

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Brooks Instrument GF series 熱質(zhì)量流量計

發(fā)布日期:2022-06-17 點擊率:116


產(chǎn)品規(guī)格型號

  • Vvv技術(shù)

  • 熱質(zhì)量

  • 液體類型

  • 用于氣體

  • 安裝類型

  • 在線

  • 材質(zhì)

  • 不銹鋼

  • 通信協(xié)議

  • RS485, 模擬輸出

  • 電源電壓

  • 5Vdc

  • 保護程度

  • 耐腐蝕

  • 應(yīng)用

  • 用于高流量

  • 其他特性

  • 數(shù)碼

  • 工藝壓力

  • 最多: 34.47 bar

    最少: 0 bar (0 psi)

  • 工藝溫度

  • 最多: 50 °C (122 °F)

    最少: 0 °C (32 °F)

  • 質(zhì)量流量

  • 最多: 300 l/min (79.3 us gal/min)

    最少: 0 l/min (0 us gal/min)

  • 精確度

  • 0.35 %, 1 %

  • 重復(fù)精度

  • 0.15 %


產(chǎn)品介紹

GF100 系列金屬密封熱質(zhì)量流量控制器和儀表 高純度流路。出色的性能、可靠性和可重現(xiàn)性。 GF100 系列金屬密封質(zhì)量流量控制器和儀表性能:快速響應(yīng)和可重現(xiàn)的高純度/超高純度過程氣體輸送。專為半導(dǎo)體、MOCVD 等其他氣體流量控制應(yīng)用設(shè)計,GF100 系列在可靠性方面優(yōu)于半導(dǎo)體行業(yè)標準水平,可確保測量結(jié)果可重現(xiàn)并且長時間使用后性能依然高度穩(wěn)定。一臺采用標準 MultiFlo? 技術(shù)的 MFC 即可滿足數(shù)千種氣體類型和各種量程組合的需求,無需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度。 結(jié)果:提高工藝靈活性和效率輔以業(yè)內(nèi)最高純度的過程氣體,有助于最大限度提高產(chǎn)率和生產(chǎn)效率。 特點 長期零點穩(wěn)定性,每年變動小于滿量程的 ± 0.5% 穩(wěn)定時間:700 ms -<1 秒 全金屬密封流路:可選擇采用 4μ 或 10μ 英寸 Ra 表面處理的流路 耐腐蝕 Hastelloy? T-Rise 傳感器可提升高溫下測量結(jié)果的可重現(xiàn)性 MultiFlo? 氣體和量程設(shè)定功能 — 一臺設(shè)備即可滿足數(shù)千種氣體類型和各種量程組合的需求,無需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度 本地顯示屏 可選 SDS 氣體輸送 DeviceNet?、RS-485 L-協(xié)議和模擬接口

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