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應(yīng)用材料公司(Applied Materials Inc.)近日推出新的診斷工具,據(jù)稱能夠在代工廠設(shè)備中執(zhí)行瞬間分析(split-second analysis)。與其它系統(tǒng)監(jiān)測(cè)工具不同,Applied的NeXus SPC工具每秒監(jiān)測(cè)關(guān)鍵的工藝參數(shù)100次。它從多個(gè)工藝和腔傳感器(chamber sensors)組合數(shù)據(jù),以便實(shí)時(shí)創(chuàng)建定位和跟蹤正在變化的工藝條件的模式。

據(jù)該公司稱,該工具能夠增加系統(tǒng)的正常運(yùn)行時(shí)間并提高成品率,防止晶圓出現(xiàn)工藝漂移,并有可能制定更具有成本效益的維護(hù)時(shí)間表。

該工具利用了所謂的虛擬傳感器(Virtual Sensors)。該公司表示:“這些算法從多種不同類型的工藝和腔傳感器構(gòu)建模型,并根據(jù)用戶預(yù)先定義的控制極限創(chuàng)建精密的報(bào)警能力。”

NeXus SPC工具的硬件被安裝在系統(tǒng)的工廠接口且不需要附加的安裝區(qū),目前該硬件已經(jīng)安裝到若干應(yīng)用材料公司的加工系統(tǒng)之中。

Applied Global Services的高級(jí)副總裁兼總經(jīng)理Manfred Kerschbaum說(shuō):“NeXus SPC的Process-Aware診斷能力通過(guò)把實(shí)時(shí)窗口提供給完整的工藝環(huán)境,包括上游的工藝腔本身的因素,增強(qiáng)了我們的客戶對(duì)應(yīng)用材料系統(tǒng)公司加工系統(tǒng)的可用性。”