低溫泵的工作原理是利用氣體在超低溫表面發(fā)生物理吸附而達(dá)到排氣的效果，是獲得潔凈真空的一種有效、快捷的方法。

    低溫泵能夠達(dá)到極高真空(10-11 Pa)，有排氣速度快、無(wú)油和安裝方向不受限制等優(yōu)點(diǎn)。

    低溫泵的一級(jí)冷臺(tái)上，設(shè)置屏蔽罩和擋板，溫度維持在80K。二級(jí)冷臺(tái)維持在15K，上面設(shè)置低溫罩和活性炭吸附劑。

    水蒸氣凝固在80K屏蔽罩和80K擋板上；氮?dú)狻⒀鯕夂蜌鍤饽淘?5K低溫罩上；

    氫氣、氦氣和氖氣被吸附在15K低溫罩內(nèi)側(cè)的吸附劑上。

    低溫泵可以對(duì)所有氣體排氣，但是如果吸附的氣體量過(guò)多，則排氣速度降低。

    這時(shí)，需要將低溫泵加熱，放出吸附的氣體后，重新使用。