小型等離子清洗機具有成本低廉、操作靈活的特點， 與動輒十幾萬美元的大型產品相比小型等離子清潔小型機具有以下優點:
　　①可以更靈活地操作，簡便地改變處理氣體的種類和處理程序。
　　②不會對人員的身體造成任何傷害。
　　③其成本對于等離子處理方法來說是微不足道的。
　　小型等離子設備廣泛應用于等離子清洗和表面改性等場合。通過其處理，能夠改善材料的潤濕能力，使多種材料能夠進行涂覆、鍍等操作，增強粘合力、鍵合力，同時去除有機污染物、油污或油脂。其具體應用包括：
　　①塑料、玻璃和陶瓷表面活化
　　玻璃、陶瓷和塑料（如聚丙烯、PTFE等）基本上是沒有極性的，因此這些材料在進行粘合、油漆和涂覆之前要進行表面活化處理。
　　②金屬去油及清潔
　　金屬表面常常會有油脂、油污等有機物及氧化層，在進行濺射、油漆、粘合、健合、焊接、銅焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等離子處理來得到完全潔凈和無氧化層的表面。
　　焊接操作前：通常印刷線路板在焊接前要用化學助焊劑處理。在焊接完成后這些化學物質必須采用等離子方法去除，否則會帶來腐蝕等問題。
　　鍵合操作前：好的鍵合常常被電鍍、粘合、焊接操作時的殘留物削弱，這些殘留物能夠通過等離子方法有選擇地去除。同時氧化層對鍵合的質量也是有害的，也需要進行等離子清潔。
　　2、特點：
　　①操作簡便、成本低廉；
　　②高效真空電極；
　　③氣體流量通過流量計和針閥實現控制；
　　④功率可在200W以內調節控制（完全能夠能夠滿足清潔需要，200W以上功率用于刻蝕）；
　　⑤自動阻抗匹配；
　　⑥自由設置參數：處理時間、功率、氣體、壓力；
　　⑦安全保護功能：真空觸發、艙門鎖。