納機(jī)電系統(tǒng)(Nano-Electromechanical System,簡稱NEMS)是20世紀(jì)90年代末、21世紀(jì)初提出的一個新概念?？梢赃@樣來理解這個概念，即NEMS是特征尺寸在1~100nm、以機(jī)電結(jié)合為主要特征，基于納米級結(jié)構(gòu)新效應(yīng)的器件和系統(tǒng)。從機(jī)電這一特征來講，可以把NEMS技術(shù)看成是MEMS技術(shù)的發(fā)展。但是，MEMS的特征尺寸一般在微米量級，其大多特性實(shí)際上還是基于宏觀尺度下的物理基礎(chǔ)，而NEMS的特征尺寸達(dá)到了納米數(shù)量級，一些新的效應(yīng)如尺度效應(yīng)、表面效應(yīng)等凸顯，解釋其機(jī)電耦合特性等需要應(yīng)用和發(fā)展微觀、介觀物理。也就是說，NEMS的工作原理及表現(xiàn)效應(yīng)等與MEMS有了甚至是根本性的不同。因此，從更本質(zhì)上說，NEMS技術(shù)已經(jīng)是納米科技的一個重要組成部分和方向。
    目前，世界各地在NEMS及其相關(guān)方面開展的研究工作主要有：
    (1) 諧振式傳感器,包括質(zhì)量傳感、磁傳感、慣性傳感等；
    (2) RF諧振器、濾波器；
    (3)微探針熱讀寫高密度存儲、納米磁柱高密度存儲技術(shù)；
    (4)單分子、單DNA檢測傳感器以及NEMS生化分析系統(tǒng)(N-TAS)；
    (5)生物電機(jī)；
    (6)利用微探針的生化檢測、熱探測技術(shù)；
    (7)熱式紅外線傳感器；
    (8)機(jī)械單電子器件；
    (9)硅基納米制作、聚合物納米制作、自組裝；等等。
    為什么要研究發(fā)展NEMS系統(tǒng)？因?yàn)槿藗兿Ｍ麑ξ⑿〉牧臀灰七M(jìn)行測量。超導(dǎo)器件約瑟夫森結(jié)中電流的震蕩，邁克耳遜干涉儀等都可以歸結(jié)為對微小位移的測量。集成化的NEMS系統(tǒng)能夠?qū)?0^-21克的質(zhì)量和10^-21牛頓的力進(jìn)行測量。這么靈敏的探測器可以幫助我們測量單個核子的核自旋，進(jìn)而對大分子的三維結(jié)構(gòu)能夠進(jìn)行實(shí)時測量。
    NEMS系統(tǒng)中的振子頻率一般高達(dá)幾十兆赫茲，最高的頻率達(dá)到10^9赫茲。振子的震動是與電場耦合著的，可以受電場控制。納米光機(jī)械系統(tǒng)（NOMS）也與此類似，不過與機(jī)械振子耦合的不是電場，而是光場。與NEMS不同，NOMS也可以用作光學(xué)器件，完成一些非線性光學(xué)的實(shí)驗(yàn)，或者作為一些特殊的光源。
    有兩種研究途徑被研究者視為標(biāo)準(zhǔn)的NEMS研究方法。一種方法，自上而下，可以總結(jié)為“用一套工具來制作一套更小的工具”。例如，一個用毫米量級的工廠制作出來微米量級的工具，可以用來制作納米量級的器械。另一種方法自下而上，可以被認(rèn)為是組裝原子和分子，使之達(dá)到期間所要求的復(fù)雜度和功能。這種過程可能用到自組裝或分子生物系統(tǒng)。