往復式真空泵的主要部件有氣缸及在其中做往復直線運動的活塞，活塞的驅動是用曲柄連桿機構來完成的。往復式真空泵的主要缺點是結構復雜，體積較大，運轉時振動較大等往復式真空泵，又名活塞式真空泵，屬于低真空獲得設備之一。與旋片式真空泵相比較，它能被制成大抽速的泵；與水環式真空泵相比，效率稍高。

   1、當活塞達到最右位置時，氣缸內就完全充滿了氣體。接著活塞從右端向左端運動，此時吸氣閥5關閉。氣缸內的氣體隨著活塞從右向左運動而逐漸被壓縮，當氣缸內氣體的壓強達到或稍大于大氣壓時，排氣閥被打開，將氣體排到大氣中，完成一個工作循環。

   2、當活塞再自左向右運動時，又吸進一部分氣體，重復前一循環，如此反復下去，直到被抽容器內達到某一穩定的平衡壓力為止。這類泵的主要缺點是結構復雜，體積較大，運轉時振動較大等。其在很多場合可由液環式真空泵所取代。 

   3、運轉時，在電動機的驅動下，通過曲柄連桿機構的作用，使氣缸內的活塞做往復運動。當活塞在氣缸內從左端向右端運動肘，由于氣缸的左腔體積不斷增大，氣缸內氣體的密度減小，而形成抽氣過程，此時容器中的氣體經過吸氣閥進入泵體左腔。