產(chǎn)品介紹

采用 L-Motion 技術(shù)的 053 Transfer Insert 特別適用于蝕刻或 CVD 等腐蝕工藝。L-Motion 技術(shù)通過單軸氣動(dòng)執(zhí)行器提供閘門的 L-motion。在這種 L 運(yùn)動(dòng)中，閘板垂直移動(dòng)到關(guān)閉位置，與閥體沒有任何接觸，在最后的運(yùn)動(dòng)中，它被水平推到閘閥座上，密封件同時(shí)以完全相同的壓力接觸閘板座。這不僅避免了任何摩擦和潛在的顆粒產(chǎn)生，還大限度地減少了密封磨損。

為了進(jìn)一步減少顆粒的產(chǎn)生和活化，閘門配有硫化密封件。這是一種比標(biāo)準(zhǔn) O 型圈密封更可靠、更耐用的密封解決方案，盡管標(biāo)準(zhǔn) O 型圈密封作為選項(xiàng)提供。軸饋通采用高度耐用的金屬焊接波紋管密封。

為了確保閘門的整個(gè)長(zhǎng)度具有相同的密封水平，閘門配備了一個(gè)特殊的壓桿。該條保證了澆口每個(gè)區(qū)域的密封壓力均勻分布。

在斷電的情況下，05.3可以氣動(dòng)鎖定在關(guān)閉位置。

帶 L-Motion 的 05.3 轉(zhuǎn)換插件專為延長(zhǎng)免維護(hù)操作而設(shè)計(jì)（≤?3?百萬(wàn)次循環(huán)，直到第一次服務(wù)）。

053 系列已安裝在各種半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中的數(shù)百個(gè)要求苛刻的應(yīng)用中，證明了其可靠性。053 系列具有堅(jiān)固的設(shè)計(jì)以及減少和易于維護(hù)的特點(diǎn)，在各個(gè)方面都令人信服。

性能特點(diǎn)

• 在腐蝕性過程條件下可靠運(yùn)行

• L-Motion 技術(shù)可避免粒子產(chǎn)生和激活

• 用于均勻澆口壓力分布的壓桿

• 波紋管密封軸饋通

• 延長(zhǎng)免維護(hù)周期

• 平穩(wěn)、低沖擊運(yùn)動(dòng)

• 正常運(yùn)行時(shí)間長(zhǎng)/性能不受限制

• 快速操作

• 運(yùn)營(yíng)成本低

技術(shù)參數(shù)

詳細(xì)參數(shù)

產(chǎn)品應(yīng)用